Spécification 1 : Pureté ≥ 99 %, impuretés métalliques totales ≤ 500 ppb
Spécification 2 : Pureté ≥ 99,5 %, impureté métallique individuelle ≤ 10 ppb
| Name | Hexakis(méthoxyméthyl)mélamine |
| Numéro CAS | 3089-11-0 |
| Formule moléculaire | C₁₅H₃₀N₆O₆ |
| Formule structurale | ![]() |
| Applications | Utilisé dans les matériaux semi-conducteurs, les revêtements antireflets (BARC), l’encapsulation avancée et l’encapsulation au niveau de la plaquette. |
| Pureté |
Grade 1 : ≥ 99 Grade 2 : ≥ 99 %, impuretés métalliques totales ≤ 50 ppb |
| Spécification d’emballage | kg/sac, fût de 25 kg |
Dans la fabrication des semi-conducteurs, il est largement utilisé dans les revêtements antireflets inférieurs (BARC), l’encapsulation avancée et l’encapsulation au niveau de la plaquette en tant que matériau de réticulation essentiel.
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Q1 : Quelles sont les spécifications relatives aux impuretés et aux ions métalliques ?
R : Offert en qualités ≥ 99 % (impuretés totales ≤ 500 ppb) et ≥ 99,5 % (métal individuel ≤ 10 ppb).
Q2 : Comment le nombre de particules est-il contrôlé pour les BARC et l’encapsulation ?
R : Filtré à travers des membranes de 0,1 μm et scellé sous azote pour respecter les limites de particules en fab.
Q3 : Quelles sont les normes de stockage et d’emballage ?
R : Sacs de 1 kg ou fûts de 25 kg ; il est recommandé de conserver au frais, hermétiquement fermé et réfrigéré.
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