Spécification 1 : Pureté ≥ 99,5 %, impuretés métalliques totales ≤ 500 ppb
Spécification 2 : Pureté ≥ 99,9 %, impureté métallique individuelle ≤ 10 ppb
| Name | Imidazo[4,5-d]imidazole-2,5(1H,3H)-dione, tétrahydro-1,3,4,6-tétrakis(méthoxyméthyl)-3a-méthyl-6a-phényl- |
| Numéro CAS | 721969-01-3 |
| Formule moléculaire | C₁₉H₂₈N₄O₆ |
| Formule structurale | ![]() |
| Applications | Appliqué dans les matériaux semi-conducteurs, les photorésines et les domaines des photorésines ArF et KrF. |
| Pureté | Grade 1 : ≥ 99 % |
| Grade 2 : ≥ 99 %, impuretés métalliques totales ≤ 50 ppb | |
| Spécification d’emballage | kg/sac, 25 kg/fût |
Dans les semi-conducteurs et les photorésines, il est spécialement utilisé comme agent de réticulation d’ultra-haute pureté dans les formulations de photorésines ArF et KrF pour la fabrication de puces aux nœuds avancés.
Q1 : Quelles qualités ultra-pures sont proposées pour les photorésines ArF/KrF ?
R : Deux spécifications : ≥ 99,5 % (impuretés totales ≤ 500 ppb) et ≥ 99,9 % (métal individuel ≤ 10 ppb).
Q2 : Quels instruments analytiques analysent les métaux à l’état de traces ?
R : Un ICP-MS à haute sensibilité est utilisé pour l’analyse des métaux à l’état de traces sur l’ensemble des éléments.
Q3 : Comment demander des échantillons dans le cadre d’un accord de confidentialité (NDA) ?
R : Dès la signature d’un accord de confidentialité, les échantillons de photorésine ultra-pure sont expédiés sous 5 jours ouvrés.
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